校正性能指標

Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z、RSk、RS、RSm、Rmr

檢測(ce)依據

Ra:0.025-12.5μm

表現範圍

Ra、Rq：0.005-16μm，Rz、Ry、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z：0.02-160μm，RS、RSm：1mm，Rmr：0-100%（%Rt），Rsk：0-100%

測量空間(jian)空間(jian)

±20μm、±40μm、±80μm

zui高(gao)提示 辨別好壞(huai)率

0.001μm

濾(lv)波原(yuan)則

RC、PC-RC、GAUSS、D-P

采樣厚(hou)度

0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動化

評(ping)判直徑

1L-5L（待選(xuan)），L為(wei)采樣(yang)尺寸

自動測(ce)量往返寬度

3L-7L（可選擇）

zui大驅(qu)動下(xia)載日(ri)程(cheng)直徑(jing)

17.5mm/0.71inch

zui小驅動包(bao)行程英文(wen)長短

1.3mm/0.052inch

示(shi)值計算誤(wu)差(cha)

≤±10％

示(shi)值(zhi)調(diao)整性

≤6％

針尖度角

90°

表現方法

128×64點陣lcd屏（帶背光）

工做環(huan)保

平均(jun)溫度：0oC- 40oC，相(xiang)對應濕球溫度：＜90%

權重

440g

外形面積

140×52×48mm